真空箱式氦检漏设备
适用对各类被检要求气密性漏率的产品（以下简称工件）进行真空法检漏。同步对工件和真空箱抽真空，使工件内外压差不大0.04Mpa，对被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性检测，通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。然后将被检工件内的氦气回收循环使用，向工件内充入规定压力的SF6工作气体。系统严格按照客户的要求设计制造，采用模块化的设计，充分考虑客户的检漏要求，同时也尽可能采用标准化的模块和部件，保证了系统的可靠性和可维护性。氦气回收要求：氦检漏系统使用氦气作为示踪气体，由于氦气比较贵重，如果直接排放，必然导致检测成本的大幅增加。设备适应用电力行业,家用空调，制冷行业，汽车行业，新能源行业的气密性检测、应具有气体充注。大漏判定功能，微漏定量检漏功能，工件泄漏总的判定功能，并能满足连续生产的需求，具有较高的自动化程度，操作简便、安全、可靠。
真空箱氦检漏
真空箱氦检漏，根据氦检漏的基本检漏原理，用氦气作为示踪气体，在真空箱内将氦气充入工件，然后通过氦检漏仪能、迅速准确的判断工件的泄露情况。
基本技术参数编辑真空箱数量： 根据实际需要真空箱容积： 根据实际需要示漏氦气压力：根据实际需要耐压试验压力：根据实际需要检漏生产节拍：根据实际需要氦气回收率： ≧98%‘’
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用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
1.氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件.使用安全。
2、在氮两侧的是氢(质荷比为2)和双电荷原子碳(质荷比为6)，质荷比都与氮相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大,容易分开，定标找氨峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低易于加工。真空箱氦检漏基本功能操作者把工件放在真空箱内，将工件接口与真空箱内的快速接头进行连接，在真空箱门关闭后，系统能全自动的完成大漏检测、工件强度检测、抽空、充氦、检漏、回收整个过程，生产节拍快，检漏精度高。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大,使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。
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